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Analyse des propriétés mécaniques des couches minces par le MicroScratch-Tester
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Les propriétés mécaniques représentent des caractéristiques importantes des couches optiques et protectrices, et les couches anti-reflet ou les barrières contre la perméation des gaz. Dans ce travail, des couches posées sur des substrats intermédiaires et des épaisseurs de moins d'un micromètre sont évaluées par le MicroScratch-Tester. Durant le test, une pointe sphérique de diamant (Rockwell C) se déplace le long de la surface à force normale (0.01-30 N) constante ou croissante. Le signal acoustique et la force tangentielle sont tous enregistrés et la trace est jugée par la microscopie optique. Ceci permet de déterminer la charge critique, le mode de …

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Les propriétés mécaniques représentent des caractéristiques importantes des couches optiques et protectrices, et les couches anti-reflet ou les barrières contre la perméation des gaz. Dans ce travail, des couches posées sur des substrats intermédiaires et des épaisseurs de moins d'un micromètre sont évaluées par le MicroScratch-Tester. Durant le test, une pointe sphérique de diamant (Rockwell C) se déplace le long de la surface à force normale (0.01-30 N) constante ou croissante. Le signal acoustique et la force tangentielle sont tous enregistrés et la trace est jugée par la microscopie optique. Ceci permet de déterminer la charge critique, le mode de …

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Les propriétés mécaniques représentent des caractéristiques importantes des couches optiques et protectrices, et les couches anti-reflet ou les barrières contre la perméation des gaz. Dans ce travail, des couches posées sur des substrats intermédiaires et des épaisseurs de moins d'un micromètre sont évaluées par le MicroScratch-Tester. Durant le test, une pointe sphérique de diamant (Rockwell C) se déplace le long de la surface à force normale (0.01-30 N) constante ou croissante. Le signal acoustique et la force tangentielle sont tous enregistrés et la trace est jugée par la microscopie optique. Ceci permet de déterminer la charge critique, le mode de …

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