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L'art et la science de la croissance de couches minces céramiques à base de silicium par la déposition de la phase des vapeurs des polymères craqués (CP-VD)
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Une nouvelle technique (CP-VD) a été conçue pour combiner les avantages offerts par les deux méthodes classiques utilisées présentement dans la synthèse des couches minces céramiques: la déposition chimique de la phase des vapeurs (CVD) et la pyrolyse des polymères précurseurs. De cette manière, des vitesses de déposition accrues sur de larges surfaces complexes (caractéristiques pour la route polymérique) deviennent accessibles alors que la possibilité de structuralisation de couches formées à partir des molécules qui gardent leur mobilité sur la surface de déposition (caractéristique pour CVD) est maintenue. Malgré sa nouveauté, des résultats remarquables ont déjà été obtenus dans la …

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L'art et la science de la croissance de couches minces céramiques à base de silicium par la déposition de la phase des vapeurs des polymères craqués (CP-VD)
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Une nouvelle technique (CP-VD) a été conçue pour combiner les avantages offerts par les deux méthodes classiques utilisées présentement dans la synthèse des couches minces céramiques: la déposition chimique de la phase des vapeurs (CVD) et la pyrolyse des polymères précurseurs. De cette manière, des vitesses de déposition accrues sur de larges surfaces complexes (caractéristiques pour la route polymérique) deviennent accessibles alors que la possibilité de structuralisation de couches formées à partir des molécules qui gardent leur mobilité sur la surface de déposition (caractéristique pour CVD) est maintenue. Malgré sa nouveauté, des résultats remarquables ont déjà été obtenus dans la …

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