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Communication
Les propriétés exceptionnelles du diamant, notamment son inertie chimique, sa conductivité thermique très élevée, sa transparence optique et sa grande dureté, ouvrent la voie à son utilisation, sous forme de couches minces, dans un domaine varié d’applications et en particulier dans les domaines biologique, optique et mécanique. Afin d’atteindre ces objectifs, nous avons focalisé notre étude sur trois substrats répondant respectivement à chacune des applications citées, i.e. le Ti6Al4V, la silice fondue et le WC-Co. Les couches de diamant polycristallin ont été déposées sur ces substrats à l’aide de réacteurs plasma micro-ondes et d’un réacteur à filament chaud. Ces réacteurs …
Communication
La contraction d'une colonne de plasma est l'état dans lequel le rayon de la décharge (définie par sa luminosité) est plus petit que celui du tube à décharge qui le contient. Ainsi, dans le cas des gaz rares lourds (Ar, Kr), suivant la valeur du rayon du tube à décharge, on peut même obtenir plusieurs filaments de plasma. Pour des conditions opératoires données, le rayon du filament de plasma peut être petit comme c'est le cas pour les décharges obtenues avec des gaz rares lourds tels l'Ar et le Kr, ou grand comme dans le cas de l'He et O2. …
Colloque
Un rayonnement électromagnétique peut émerger d'une ou plusieurs fentes pratiquées dans le grand côté d'un guide d'ondes rectangulaire. Ce principe, précédemment utilisé pour la conception d'antennes, connaît depuis quelques années un nouvel essor. En effet, de telles structures permettent également d'ioniser un gaz maintenu sous une pression réduite. Cette communication est consacrée à deux aspects essentiels de ce type de décharge. Tout d'abord l'efficacité de l'applicateur micro-onde, en l'occurrence une version modifiée du GL-512 fabriqué par la compagnie Gerling (2.45 GHz, 0.3 metre, WR-430), sera examinée. Des mesures de densité électronique obtenues à partir de sondes électrostatiques de Langmuir nous …
Colloque
Il est possible d'ioniser un gaz présent à l'intérieur d'un tube diélectrique à l'aide d'énergie micro-onde. C'est ce qui arrive, par exemple, lorsqu'un tube de Pyrex traverse un guide d'ondes par ses grands côtés. On peut cependant remplacer le diélectrique par un matériau conducteur comme le cuivre. Dans ce cas particulier, le gaz qui s'écoule à l'extrémité de ce manchon est ionisé, formant ainsi une torche à plasma micro-onde à la pression atmosphérique. Nous présentons ici deux aspects particuliers de cette nouvelle torche. Tout d'abord, le dispositif lui-même sera décrit en mettant l'accent sur sa très grande souplesse au niveau …
Colloque
Le diamant, de par ses propriétés physiques exceptionnelles, suscite dans l'industrie un intérêt sans cesse grandissant. Les procédés de dépôt par plasma à basse pression permettent d'obtenir des films polycristallins de diamant se prêtant bien à diverses applications. En plus du méthane qui fournit le carbone nécessaire à la croissance du cristal de diamant, on ajoute au plasma de grandes quantités d'hydrogène. Lors du dépôt, l'hydrogène atomique joue un rôle crucial puisqu'il stabilise la phase diamant et élimine le graphite pouvant également se déposer. Il est donc nécessaire de favoriser la dissociation des molécules d'hydrogène dans ces plasmas. Par la …
Colloque
Le laser CO2 à guide d'onde est un laser à gaz moléculaire largement utilisé dans les systèmes de métrologie et de spectroscopie pour la stabilité de son mode d'émission, sa structure compacte et de la possibilité d'asservissement dans une large gamme spectrale. Au cours des dernières années, différentes techniques d'excitation de lasers à guide d'onde, utilisant des champs électromagnétiques à haute fréquence (HF), ont été proposées dans le but de créer une décharge stable et de longue durée de vie. Nous étudions une décharge HF produite par une onde de surface qui facilite la construction d'un laser à guide d'onde …
Colloque
Les plasma micro-ondes produits à la RCE sont perçus actuellement par la communauté scientifique comme un substitut futur aux décharges capacitives pour le traitement de matériaux. Ceci résulte entre autres des pressions réduites auxquelles ces plasmas fonctionnent, ce qui permet d'envisager leur utilisation pour la reproduction de motifs sub-microniques. Ces dernières années, il est apparu que l'étude exhaustive des caractéristiques des plasmas de RCE s'avère indispensable si l'on veut élaborer des modèles de décharge permettant d'en prédire les propriétés dans des conditions expérimentales données. À cet effet, on se doit de mettre au point des méthodes de diagnostic fiables. Dans …
Colloque
Les traitements de surfaces par plasma font désormais partie intégrante du paysage industriel, et les applications de cette technique ne se comptent plus. Néanmoins, les mécanismes physico-chimiques qui régissent l'interaction plasma-surface sont complexes et jusqu'à présent mal connus. Dans ce cadre, nous avons montré que l'effet de la tension de polarisation appliquée à un substrat de Si recouvert de polyimide se manifeste par deux régimes de gravure: (I) gravure chimique et (II) gravure chimique induite. De plus, en faisant varier la fréquence de polarisation, nous avons pu mettre en évidence deux situations nouvelles: dans le cas d'une gravure s'effectuant via …
Colloque
Si, grâce à l'industrie de la microélectronique, les réactions entre le plasma et le silicium sont connues et modélisées, la physico-chimie résultante de l'interaction d'un plasma et d'un polymide reste encore obscure. De nombreux articles, qui font état de la modification de polymide par plasma froid, ignorent les aspects de mécanismes réactionnels. Nous avons entrepris d'étudier l'effet du bombardement ionique sur les mécanismes de gravure plasma mettant ainsi en évidence la composante de la vitesse de gravure due à ce bombardement lorsqu'on applique une tension de polarisation RF (13.56 MHz) à un substrat de silicium recouvert de polymide. Le plasma …
Colloque
L'importance du potentiel d'applications des dépôts diamantaires suscite de nos jours un intérêt et un effort de recherche remarquables. Ces dépôts procèdent généralement de décharges électriques à base d'hydrogène et de méthane, l'hydrogène atomique ayant un rôle important à jouer lors du dépôt. Nous avons entrepris d'étudier des décharges d'hydrogène entretenues par la propagation d'une onde de surface dans le but de trouver les conditions optimales (fréquence d'entretien de la décharge, pression) pour produire de grandes quantités d'hydrogène atomique. Une première étape de cette étude consiste en la mesure de la température du gaz d'hydrogène, que nous corrélions avec les …
