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Colloque
Dans le cadre du développement de lithographie par rayons X, nous avons entrepris de développer, à l'INRS-Énergie des masques en vue de cette application. Étant donné ses propriétés mécaniques et optiques, le carbure de silicium est un très bon candidat comme matériau pour les membranes de masques à rayons X. Les couches minces de SiC sont obtenues en utilisant le procédé PECVD. Nous nous intéressons particulièrement à l'étude de l'influence des paramètres de la chimie en phase vapeur sur les propriétés mécaniques et optiques des membranes de SiC.
Colloque
L'utilisation des supraconducteurs à haute température critique requiert le développement de nouvelles techniques de mise en forme. Nous avons développé une nouvelle méthode de compaction dynamique de céramiques supraconductrices en utilisant les chocs induits par laser. Des pressions de l'ordre de 10 GPa sont obtenues par une technique de confinement du plasma. L'effet du choc sur les supraconducteurs de type YBa2Cu3O7-x est étudié au moyen de différents diagnostics incluant la métallographie, les mesures de susceptibilité magnétique, les mesures de courants critiques et la diffraction X. Les résultats expérimentaux préliminaires montrent un effet de densification sur une profondeur de l'ordre de …
