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Colloque
L'ellipsométrie à longueurs d'onde multiples a été proposée par Ayoub et Bashara comme une méthode capable de caractériser un film mince, uniaxial, déposé sur un substrat non absorbant. Selon ces auteurs, si l'on mesure la différence de phase δ = A−Δ on obtient une solution unique pour les indices de réfraction du film (nμ et n∥) et l'épaisseur de celui-ci (d). Cette solution existe si par le biais de varier n3, on n'affecte pas les valeurs de nμ, n∥ et d. Leur argument est qu'en mesurant δ pour trois valeurs différente de n3, ils égèrent trois équations simultanées pour les …
